冷却水塔工作原理
　　冷却水塔之工作原理,系将与制程行热交换后之高温冷却水回流至冷却水塔经分配管,喷嘴洒在  散热材表面,形成小水滴,与配置在冷却水塔之风扇所抽吸的冷空气相互接触,此时,热水与冷空气 之间即产生显热 (水之显热为1kcalkg-℃)之热交换作用,同时少部份 (约1-1.5%) 的热水被蒸发成  气态水蒸气而吸收蒸发潜热 (水之蒸发潜热为539kcalkg) 再度降低冷却水之温度而形成低温之冷却水。

　　2.冷却水塔系统流程

　　经冷却水塔冷却后之低温 (32℃) 冷却水→冷却水泵浦→配管至各制程系统行显热之热交换→  (高温冷却水) 回流至冷却水塔之分配管喷嘴形成小水滴→流经散热材与风扇所吸入之冷空气进行显热及潜热之热交换→(低温冷却水) 冷却水水池→冷却水泵浦再泵送至各制程系统形成一循环回路。